中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张家港研究院由张家港市人民政府、张家港高新区以及中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所合作共建,位于张家港高新区。研究院一期建设6000平米超净室,总投资1.76亿元,预计2019年底正式投入运营。研究院致力于打造中国最好的外延平台,包括外延技术平台,材料测试平台以及产业育成中心。目前订购了4台Aixtron MOCVD外延系统和14台材料检测设备,具有年产2万片GaAs、InP、GaSb等高端外延片的能力。张家港研究院提供的服务包括:
2~6英寸外延片定制
半导体材料测试服务
MO设备出租、厂房出租、外围配套服务
GaAs HBT, pHEMT;
GaAs VCSEL, LD, PD;
InP HBT, LD, PD;
GaSb T2SL PD;